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配置：美国ZYGO平面干涉仪,100MM激光干涉仪主体+100MM平面镜头+立试支架 +新版本测量软件（带手柄带显示器）开机就可以用的
美国ZGYO干涉仪
指标
1.测量技术：机械相移模式QPSI
经典机械相移干涉模式PSI
2.激光光源：大功率稳频氦一氖激光，Ⅲa级
3.波长：633 nm
4.频率稳定度 lt;0.0001 nm
5.相干长度 gt;100 m
6.5.3M像素相机 1.4M像素相机（可选）
分辨率：2304*2304 分辨力：1200*1200/600*600
帧速：210Hz 帧速：50Hz/82Hz
数位：8位 数位：10位
快门时间：200us-10ms 快门时间>12us
7.数据采集时间： 130-300ms
8.放大： 1—50×数字式（选1.2KCCD时可选
配1×，1.7×，3×分立方放大）
9.偏振： 接近圆偏振（1.2:1或者更好）
10.光瞳调焦范围： 4英寸：±2.5m；6英寸：±5.5m
11.RMS重复性 <0.06nm，/10.00（2q）
12.RMS波前重复性 <0.35nm,/1800（mean+2q）
像素峰值偏差 <0.5nm,/1200（99.5th%）
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
盘片质量检验
三平板测量
双球面测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
GPI系列***激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪,具有光学器件少,精度高,易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光,光束扩展为1英寸(25mm)至 32英寸(810mm)直径,自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪,形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机,形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹,可以测量样品的表面面形和传输波面质量,样品为平面或球面。如果为非平面和非球面,则需通过加装补偿片等手段进行测量。
GPI系列干涉仪采用***移相技术和高分辨率CCD接收器件(可达 2048 X 2048),配合功能强大的MetroPro?软件可以
