超精加工使用细粒度磨条（油石）以较低的压力和切削速度对工件表面进行精密加工的方法。
加工中有三种运动，即工件的回转运动1；磨头轴向进给运动2；磨条高速往复振动3。这三种运动使磨粒在工件表面形成的轨迹是正弦曲线。
超精加工的切削过程与磨削、研磨不同，只能切去工件表面的凸峰，当工件表面磨平后，切削作用能自动停止。超精加工大致可分为四个阶段：
A强力切削阶段油石磨粒细，压力小，工件与磨条之间的油膜易形成，单位面积上的压力大，故切削作用强烈。
B正常切削阶段当少数凸峰磨平后，接触面积上的压力降低，切削磨条自锐性作用减弱，进入正常切削阶段。
C微弱切削阶段随着切削面积的增大，单位面积上的压力更低，切削作用微弱，且细小的切屑形成氧化物而嵌入油石空隙中，使油石产生光滑表面，具有摩擦抛光作用而降低工件表面的粗糙度。
D自动停止阶段工件磨平，单位面积上压力极低，工件与磨条之间又形成了油膜，不再切削，切削作用自动停止。
